品牌: |
台硕检测设备 |
所在地: |
江苏 苏州市 |
起订: |
≥1 台 |
供货总量: |
9999 台 |
有效期至: |
长期有效 |
详情介绍
台硕检测设备(苏州)有限公司
联系人:李经理
手机号:186-1668-7110 18616687110
网址:http://www.taso1.com/
邮箱:shasha.li-sh@taso1718.com
地址:苏州市吴中区横泾街道天鹅荡路2659号2号厂房
度高:最小间距分辨率高达O.OOlpim
? 800pm\5mm\20mm大量程传感器,测力小精度高、数据重复性好
?无导头式天然钻石触针,使用范围广,操作更方便
?软件可自动校正精度、确保仪器在线保持高精度工作状态
o8)产品技术规格 Product specificatiions
型号 |
TS-R100 |
X轴(横导) |
lOOmm,直线度=0.8nm/l00mm |
测量范围 zi轴(传感) |
20mm |
Z轴位柱) |
400mm |
线性精度 |
W± (0.8+0.2L/100) pm |
Zl轴精度 |
W (0.8+|0.2H|/l00) gm; (L=X轴移动导轨距离,H=Zl轴方向测量高度) |
测量精度 残值噪声 |
W0.005um |
示值误差 |
W±(5nm+0.lA) |
重复性 |
W±3% |
传感器 |
光栅传感器,分辨率0.00l|im |
评定长度 |
入 cX3、4、5、6、7
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