台硕检测设备（苏州）有限公司
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产品特点 Product features
?移动桥式结构，测量工件固定不动
?四轴CNC全自动闭环控制，全自动测量
?大理石基座和横梁，稳定可靠
?幵放式光栅尺，分辨率0.5pim,精度高，稳定性好
?精密直线导轨、研磨级滚珠螺杆和交流伺服电机，确保机台运动系统精度的稳定性
?高分辨率彩色相机，满足清晰观察和稳定测量的需求
? 6.5X高清晰光学镜头，准确自动变倍，一次像素校正即可
产品技术规格 Product specifications
型号 QVME6050H QVME8060H QVME1210H QVME2015H
量程X*Y轴*乙轴（mm） 500*600*200 600*800*200 1000*1200*200 1500*2000*200
外形尺寸（mm） 1400*1100*1628 1650*1240*1676 2300*1810*1720 4200*2500*1750
Z轴实测高度（mm） <130
建议承重（kg） <60 <50
XY轴线性精度（pm） E= (2.5+L/200) E= (3.0+L/200)
Z轴线性精度（nm） E= (5.0+L/100)
速度 XY轴(mm/s) : <500 Z轴(mm/s) : <100
光栅尺 0.5jirn金属贴片光栅尺
图像传感器 工业数字摄像机
光学镜头 高清光学镜头，光学放大倍率0.7 X-4.5 X连续变倍
放大倍率 影像放大倍率约30-185X
光源 落射光：五环八区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 轮廓光：圆形LED冷光源，亮度程控微调
运动控制 4轴CNC伺服控制系统（X、Y、Z、ZOOM）
测量软件 Taiso定制版专业测量软件
建议工作环境 温度 20±3 °C,湿度35%-80%,振动<0.002g,低于 15Hz
电源 AC 220±5V 50Hz
重量约（kg） 780 1200 1800 2500

注释：1.L表示检测长度，以毫米为单位。
2?放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸及显示器分辨率也相关。