超纯水制备的工艺流程主要包括以下几个步骤：

原水处理：原水可以是自来水、普通蒸馏水或普通去离子水。
预处理系统：包括原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统。
双级反渗透系统：通过保安过滤器、RO高压泵和反渗透系统，反渗透膜可以滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。
EDI系统：通过除去电解质（包括弱电解质）的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。
抛光树脂：使用无化学析出的核子级树脂去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ·cm以上。
终端超滤：有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物，确保产出的高纯水不受二次污染。
这一系列步骤确保了超纯水的制备，其中EDI超纯水设备在行业内竞争非常激烈，国产超纯水设备同样能够做到出水质量的高纯度。渗透/电去离子（RO/EDI）集成膜技术是近年来迅速发展成熟，并得到大规模工业应用的最新一代超纯水制造技术，在国际上已逐渐成为纯水技术的主流。